集聚全球頂級專家、行業精英，匯集行業新技術、新產品、新成果……昨天，隨著第十四屆中國國際納米技術產業博覽會開幕，全球納米產業進入“金雞湖時刻”。2400多家納米技術相關企業集中亮相，爭相展示各自前沿技術和拳頭產品。金雞湖成為連接全球納米領域“產、學、研、用”各界的橋梁和紐帶。

蘇企自研設備實現高精度無損檢測

面對高精度鋰電池，如何能在無損電池極片表面的情況下實現又快又準的檢測？展會上，江蘇自貿區蘇州片區企業托托科技（蘇州）有限公司帶來“新解法”。

“傳統檢測工具很多采用電子束或探針掃描檢測樣品，最大缺點是會損傷樣品。我們今年3月推出的檢測設備，以光學非接觸方式進行檢測，可以無損、高精度判斷高精度金屬表面、生物芯片、半導體芯片等產品的工藝水平。”該款光學檢測顯微鏡產品線銷售代表丁一航介紹，產品在X、Y軸方向上的分辨率與傳統光學顯微鏡一致，但在Z軸上精度非常高，可達0.1納米的原子級精度。“光學干涉原理決定了檢測精度，這也是我們的核心技術優勢。”

技術能力不亞于國外產品，價格僅為其六七成……展臺前，托托科技人氣十足。丁一航告訴記者，這款檢測顯微鏡主要面向半導體等領域的產品研發，技術門檻較高，在光學軟件算法、核證等方面優勢明顯，實現對國外產品的國產化替代。“我們的產品既能滿足不同場景的觀察模式，也可實現亞納米級別的分析結果，獨有的AI算法還能無延遲輸出分析結果，能滿足各類特點場景的檢測任務。”丁一航說。

激光直寫光刻機彰顯核心競爭力

今年，園區蟬聯“MEMS傳感器十大園區”榜首，實現四連冠。本屆納博會上，以微納制造技術加速新型材料和工藝創新的蘇大維格，帶來自主研發的激光圖形化直寫設備MiScan。

MiScan200激光直寫系統，是對感光材料進行微納米結構制版的重要設備，是IC集成電路和微納光電子器件產品研發與制造的核心裝備之一。現場工作人員告訴記者，MiScan200激光直寫系統使用一系列首創方法，能有效突破直寫圖形納米級精度和設備運行穩定性一致性的問題，滿足光電子行業的技術需求，為光子材料/器件的創新提供不可或缺的原創手段。“這款裝備曾獲蘇錫常首臺（套）重大裝備認定，在兩微米左右精度下，每分鐘光刻面積可達600平方毫米。”工作人員說。

據了解，蘇大維格是業內少數擁有微納光學制造完整產業鏈的企業之一，現階段公司的微納光學制造技術主要應用于公共安全和新型3D印材、消費電子新材料和泛半導體等領域。目前，園區成立了納米加工平臺、MEMS中試平臺、測試分析平臺、微系統平臺封裝等產業鏈關鍵支撐平臺，還成立全國首個MEMS產業知識產權聯盟，啟動全國首個MEMS產業專利池，在聲學傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器等領域形成先發優勢。

國外展團為本地產業帶來全新視角

本屆納博會更注重產業鏈全景圖的呈現。以MEMS產業鏈為例，匯集歌爾、漢威、敏芯等器件設計企業，中國科學院納米所、松山湖實驗室、杭州士蘭微等16家量產/代工企業，勝科納米、微納科技、計量所等測試分析企業，科磊半導體、北方華創、上海微電子裝備、卡爾蔡司等國內外設備企業。

“我們希望通過升級本屆納博會的規模，擴大園區納米技術應用及新材料領域‘朋友圈’。”蘇州納米科技發展有限公司相關負責人介紹，今年2月和7月，納博會主席團代表攜企業分赴日韓參加今年日本納米大會、第22屆韓國納米大會，成功邀請日韓企業組團參展今年納博會。歐洲、伊朗等國際特色展團也將現場參展，集中展示各自國家在納米技術領域的最新成果和應用，為本地產業帶來全新視角。

本屆納博會邀請到國內外院士20多位、政企及院校專家學者450余位。主報告及分論壇報告中，國際演講嘉賓約占嘉賓總數30%。“專家大咖進行思想碰撞，不僅會帶來最前沿的技術視角，也將加快推動園區在納米技術應用及新材料領域更高水平的國際合作，為加快建設開放創新的世界一流高科技園區集聚更多智慧。”該負責人說。

駐園區首席記者 董捷

《蘇州日報》2024年10月24日A02版